[发明专利]洁净室的表面粒子检测用测试膜

摘要

本发明涉及通过对因表面粒子而引起的洁净室的受污染程度进行测定来用于防止产品不良的洁净室的表面粒子检测用测试膜，本发明提供如下的洁净室的表面粒子检测用测试膜，即，所述洁净室的表面粒子检测用测试膜包括：基板，具有规定厚度，且由透明的合成树脂材质形成；第一粘结层，形成于所述基板的一侧，用于收集表面粒子；离型膜，附着于所述第一粘结层，当收集表面粒子时，从所述第一粘结层分离；第二粘结层，形成于所述基板的另一侧；以及保护膜，附着于所述第二粘结层来保护所述基板，标有刻度。根据本发明，在涂敷有粘结剂的基板的粘结层的涂敷面收集附着于被测定物的表面粒子之后，通过肉眼或利用放大镜、显微镜等机构测定表面粒子的数量、大小、分布等，由此具有可方便快捷地确认洁净室是否受到污染的效果。

主权项

1.一种洁净室的表面粒子检测用测试膜，用于检测存在于洁净室的表面粒子，其特征在于，包括：基板，具有规定厚度，且由透明的合成树脂材质而形成，所述基板包括本体部、第一把持部、第一切开部、第二把持部及第二切开部，所述第一把持部在所述本体部的一端部延长形成，所述第一切开部形成于所述本体部与所述第一把持部之间，所述第二把持部在所述本体部的另一端部延长形成，所述第二切开部以被切开的方式形成于所述本体部与所述第二把持部之间并用于容易分离保护膜，把持所述第一把持部或所述第二把持部能够容易地分离离型膜或保护膜；第一粘结层，形成于所述基板的一侧，用于收集表面粒子；离型膜，以可装拆的方式附着于所述第一粘结层，当收集表面粒子时，从所述第一粘结层分离，以表面粒子附着于所述第一粘结层的方式收集试样之后，重新附着于所述第一粘结层，防止试样受到污染；第二粘结层，形成于所述基板的另一侧，分离附着的保护膜之后，可更换为具有不同大小的刻度的保护膜并附着于所述第二粘结层来使用；以及保护膜，以可装拆的方式附着于所述第二粘结层来保护所述基板，标有刻度，可通过对因被收集的表面粒子而产生于所述离型膜的气泡的数量进行计数或观察气泡的大小来判断是否受到污染。