[发明专利]脆性衬底的分断方法

摘要

本发明涉及一种脆性衬底的分断方法。一边对刻划轮(51)施加荷重(F)一边使其滚动，由此在玻璃衬底(4)上形成沟槽线(TL)。刻划轮(51)朝与荷重(F)的面内分量(Fi)的方向相同的行进方向(DP)行进。形成沟槽线(TL)的步骤是为了获得无裂痕状态而进行。使玻璃衬底(4)在厚度方向(DT)上的裂痕沿沟槽线(TL)朝行进方向伸展，由此形成裂痕线(CL)。通过裂痕线(CL)断开沟槽线(TL)正下方的玻璃衬底(4)在与沟槽线(TL)交叉方向上的连续连接。沿裂痕线(CL)分断玻璃衬底(4)。

主权项

1.一种脆性衬底的分断方法，使用绕旋转轴具有设置有刀尖的外周部的刻划轮分断脆性衬底，且包含：/n准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有第1面和与第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及/n形成沟槽线的步骤，一边对所述刻划轮施加荷重，将所述刻划轮的所述外周部按压在所述脆性衬底的第1面上，一边使所述刻划轮在所述脆性衬底的所述第1面上滚动，由此在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，从而形成具有沟形状的沟槽线；所述荷重具有平行于所述脆性衬底的所述第1面的面内分量；在形成所述沟槽线的步骤中，所述刻划轮在所述第1面上朝与所述面内分量的方向相同的行进方向行进，且形成所述沟槽线的步骤是以获得无裂痕状态而进行，即，所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉的方向上连续地相连的状态；且/n所述方法更包含形成裂痕线的步骤，使所述脆性衬底在所述厚度方向上的裂痕沿所述沟槽线朝所述行进方向伸展，由此形成裂痕线；利用所述裂痕线断开所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉的方向上的连续相连；并且/n所述方法还包含沿所述裂痕线分断所述脆性衬底的步骤。/n