[发明专利]制备多晶硅颗粒的流化床反应器和方法有效

专利信息
申请号: 201580058264.5 申请日: 2015-10-21
公开(公告)号: CN107207266B 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: G·福斯特波音特纳尔;D·韦克塞尔 申请(专利权)人: 瓦克化学股份公司
主分类号: C01B33/027 分类号: C01B33/027;C01B33/03
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 彭丽丹;过晓东
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种制备多晶硅颗粒的流化床反应器,其包括反应器盖(10)、反应器管(3)和反应器底(9),所述反应器还包括加热装置、用于供应流化气体(2)的至少一个底部气体喷嘴,以及用于供应反应气体(1)的至少一个第二气体喷嘴,用于进料硅晶种颗粒的晶种进料器(4),用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5),以及尾气除去器(6),其中通过紧靠所述反应器底(9)的密封件/填料(8)密封底部气体喷嘴、至少一个第二气体喷嘴以及用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5),并通过密封件(7)密封紧靠反应器盖(10)和反应器底(9)的反应器管(3),其中所述密封件/填料(7,8)由石墨构成且含有小于500ppmw的磷。
搜索关键词: 多晶硅颗粒 气体喷嘴 反应器 密封件 流化床反应器 反应器盖 反应器管 紧靠 制备 密封 供应反应气体 加热装置 流化气体 除去器 进料器 石墨 退出 硅晶 晶种 尾气
【主权项】:
1.一种制备多晶硅颗粒的流化床反应器,其包括反应器盖(10)、反应器管(3)和反应器底(9),所述流化床反应器还包括加热装置、用于供应流化气体(2)的至少一个底部气体喷嘴以及用于供应反应气体(1)的至少一个第二气体喷嘴,用于进料硅晶种颗粒的晶种进料器(4),用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5)以及尾气除去器(6),其中通过紧靠所述反应器底(9)的密封件/填料(8)密封底部气体喷嘴、至少一个第二气体喷嘴以及用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5),并通过密封件(7)密封紧靠反应器盖(10)和反应器底(9)的反应器管(3),其中所述密封件/填料(7,8)由石墨构成且含有小于500ppmw的磷。
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