[发明专利]嵌段共聚物

摘要

本申请提供了嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物表现出优异的自组装特性或相分离特性，可以没有限制地提供多种所需功能，并且特别是可以确保蚀刻选择性，使得所述嵌段共聚物可有效地用于诸如图案形成的用途。

主权项

1.一种嵌段共聚物，包含具有由以下结构式1表示的结构单元的第一嵌段和具有由以下结构式3表示的结构单元的第二嵌段：[结构式1][结构式3]其中在所述结构式1中，R表示氢原子或烷基；X表示单键、氧原子、硫原子、‑S(＝O)₂‑、羰基、亚烷基、亚烯基、亚炔基、‑C(＝O)‑X₁‑或‑X₁‑C(＝O)‑，其中X₁表示氧原子、硫原子、‑S(＝O)₂‑、亚烷基、亚烯基或亚炔基；Y表示一价取代基，所述一价取代基包含连接有含有8个或更多个成链原子的线性链的环结构；以及其中在所述结构式3中，X₂表示单键、氧原子、硫原子、‑S(＝O)₂‑、亚烷基、亚烯基、亚炔基、‑C(＝O)‑X₃‑或‑X₃‑C(＝O)‑，其中X₃表示单键、氧原子、硫原子、‑S(＝O)₂‑、亚烷基、亚烯基或亚炔基；并且R₁至R₅各自独立地表示氢原子、烷基、卤代烷基、卤原子或交联官能团，其中标记为R₁至R₅的位置处包含一个或更多个交联官能团，其中所述交联官能团是含叠氮官能团、含硫官能团或者含有一个或更多个不饱和双键的官能团。