[发明专利]基板切断装置及基板切断方法有效

专利信息
申请号: 201580062063.2 申请日: 2015-11-26
公开(公告)号: CN107000085B 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 岛村哲也;百鬼和广 申请(专利权)人: 庄田德古透隆股份有限公司
主分类号: B23D45/10 分类号: B23D45/10;B26D1/14;B28D1/04;H05K3/00
代理公司: 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 代理人: 刘俊
地址: 日本静冈县滨*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供在切断时可抑制基板的挠曲,且可防止装置构成大型化的基板切断装置及基板切断方法。该基板切断装置(10)具备:第1刀具(20),具有多片第1旋转刃(32);第2刀具(22),具有多片第2旋转刃(52);第1旋转驱动手段(72),用以旋转驱动第1刀具(20);第2旋转驱动手段(74),用以旋转驱动第2刀具(22);刀具支持手段(76),用以支持第1刀具(20)及第2刀具(22),使旋转轴彼此间形成平行且径向相对;及相位调整手段(104),用以调整第1刀具(20)及第2刀具(22)至少一个的相位,以使第2旋转刃(52)在第1刀具(20)与第2刀具(22)相对的对向区域,位于相邻的2片第1旋转刃(32)间。
搜索关键词: 刀具 旋转驱动 旋转刃 基板切断装置 基板切断 多片 相位调整手段 刀具支持 防止装置 径向相对 旋转轴 抑制基 对向 挠曲 平行
【主权项】:
1.一种基板切断装置,为用以从基板的一面及另一面切断前述基板的基板切断装置,其特征在于具备:第1刀具,具有用以从前述一面切断前述基板的多片第1旋转刃;第2刀具,具有用以从前述另一面切断前述基板的多片第2旋转刃;第1旋转驱动手段,用以旋转驱动前述第1刀具;第2旋转驱动手段,用以旋转驱动前述第2刀具;刀具支持手段,以旋转轴彼此间形成平行且径向相对的方式支持前述第1刀具及前述第2刀具;相位调整手段,用以调整前述第1刀具及前述第2刀具的至少一个相位,使前述第2旋转刃在前述第1刀具与前述第2刀具相对的对向区域位于相邻的2片前述第1旋转刃间;Y方向驱动手段,用以使前述第1刀具及前述第2刀具和前述刀具支持手段一起移动于Y方向;以及Z方向驱动手段,使前述第1刀具位在从前述基板的一面侧切断该基板的位置,且使前述第2刀具位在从前述基板的另一面侧切断该基板的位置。
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