[发明专利]分割槽形成装置及分割槽形成方法有效
| 申请号： | 201580062078.9 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN107000253B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 岛村哲也;百鬼和广 | 申请（专利权）人： | 庄田德古透隆股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D1/04 | 分类号： | B28D1/04;B23D45/10;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 日本静冈县滨*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以以一定深度高精确度地形成分割槽的分割槽形成装置及分割槽形成方法。该分割槽形成装置(10)具备：第1刀具(20)，具有多片第1旋转刃(32)；第2刀具(22)，具有多片第2旋转刃(52)；第1旋转驱动手段(72)，用以旋转驱动第1刀具(20)；第2旋转驱动手段(74)，用以旋转驱动第2刀具(22)；刀具支持手段(76)，以使旋转轴彼此间形成平行且径向相对的方式支持第1刀具(20)及第2刀具(22)；相位调整手段(104)，用以调整第1刀具(20)及第2刀具(22)至少一个的相位，使第1旋转刃(32)和第2旋转刃(52)在第1刀具(20)与第2刀具(22)相对的相向区域形成相向。 | ||
| 搜索关键词： | 刀具 分割槽 旋转驱动 旋转刃 形成装置 多片 相位调整手段 刀具支持 方式支持 径向相对 相向区域 旋转轴 相向 平行 | ||
【主权项】：
1.一种分割槽形成装置，为在基板的一面及另一面彼此对应的位置，同时形成用以分割前述基板的第1分割槽及第2分割槽的分割槽形成装置，其特征在于具备：第1刀具，具有用于藉由切削前述基板以形成V字形的前述第1分割槽的多片第1旋转刃；第2刀具，具有用于藉由切削前述基板以形成V字形的前述第2分割槽的多片第2旋转刃；第1旋转驱动手段，用以旋转驱动前述第1刀具；第2旋转驱动手段，用以旋转驱动前述第2刀具；刀具支持手段，以旋转轴彼此间形成平行且径向相对的方式支持前述第1刀具及前述第2刀具；以及相位调整手段，用以调整前述第1刀具及前述第2刀具的至少一个的相位，使前述第1旋转刃和前述第2旋转刃在前述第1刀具与前述第2刀具相对的相向区域相向。
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