[发明专利]辐射束设备有效
| 申请号： | 201580063807.2 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107003447B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | J·德克尔斯;H-K·尼恩惠斯;M·J·M·林肯斯;J·A·G·阿克曼斯;G·C·德弗里斯;E·R·鲁普斯特拉 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可调整衍射光栅包括：光学元件和变形机构。光学元件具有用于接收输入辐射束的光学表面。光学元件设置有在光学表面下方的多个闭合通道，在每一闭合通道上方，光学表面由材料薄膜形成。变形机构包括一个或多个致动器，所述一个或多个致动器可操作以使在闭合通道上的薄膜变形，以便控制光学表面的形状和在光学表面上形成周期性结构，所述周期性结构用作衍射光栅使得输入辐射束从光学元件衍射以形成多个角分离的子束。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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