[发明专利]包括考虑样本内的光学路径长度的变化的光学检查系统和方法有效
| 申请号： | 201580065101.X | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN107209116B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | M·A·特雷尔;M·A·阿伯雷 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G01N21/49 | 分类号： | G01N21/49 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邹丹 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 照明器/收集器组件(104)可将入射光(106)递送到样本(102)并且收集从样本(102)返回的返回光(112)。传感器(114)可根据所收集的返回光(112)的光线位置和光线角度来测量光线强度。光线选择器可从传感器(114)处的所收集的返回光(112)选择满足第一选择标准的第一子组光线。在一些示例中，该光线选择器可将光线强度聚合成箱，每个箱对应于所收集的返回光(112)中的在样本(102)内穿过相应光学路径长度范围内的估计光学路径长度的光线。表征器可基于第一子组光线的光线强度、光线位置和光线角度来确定样本(102)的物理属性诸如吸收率。考虑在样本内穿过的光学路径长度的变化可改善准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 考虑 样本 光学 路径 长度 变化 检查 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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