[发明专利]靶组件

摘要

本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。具有绝缘材料靶(21)和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板(22)，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)的本发明的靶组件(2)，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板(23)。

主权项

1.一种靶组件，其具有绝缘材料靶，以及通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分，其特征在于：在组装到溅射装置上的状态下，配置了与靶侧面之间留出规定间隙并围绕靶的周围的环状屏蔽板；还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖所述延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板；在面向靶和屏蔽板之间的间隙的绝缘板的内周边部上具有朝向靶侧凸出设置的凸条。