[发明专利]通过利用短激光脉冲和复合靶材料制造薄膜的方法有效
| 申请号： | 201580066147.3 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN107002225B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | J.利马泰宁;V.克科宁 | 申请（专利权）人： | 皮科德昂有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;H01M2/14;H01M4/13;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 孙梵 |
| 地址： | 芬*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明提出由金属、陶瓷和有机材料通过利用两种或多种材料制成的瓦解的复合靶制造紧密且多孔的涂层和以这种方式通过利用引导到靶材料的短激光脉冲产生朝向待涂覆的物体的材料流的方法。通过所述方法可以受控的方式制造材料结构体、使所需的激光脉冲能量和热量产生最小化，并且通过所述方法还可通过恰当地选择所述靶材料的组分而提高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 短激光脉冲 靶材料 复合靶 激光脉冲能量 热量产生 有机材料 制造材料 材料流 结构体 最小化 受控 涂覆 薄膜 瓦解 陶瓷 金属 制造 | ||
【主权项】：
1.借助激光脉冲制造薄膜型涂层的方法，其特征在于‑由至少两种不同的靶材料借助压力和/或温度通过压缩制造期望形状的靶，其中所述靶材料的至少一种材料组分的烧蚀阈值(J/cm2)低于所使用的其它靶材料的烧蚀阈值(J/cm2)；其中第一靶材料在压缩之前充当第二靶材料的涂层；和其中第一靶材料为金属、无机或有机材料，且其中所述靶的被涂覆的源材料在压缩之前是粉末状的；‑将激光脉冲引导到所述靶以使所述靶材料脱离并且形成具有期望尺寸和材料分布的粒子；其中单个激光脉冲的持续时间小于10ns；和‑将从所述靶脱离的靶材料朝向基底引导以使薄膜型涂层形成到所述基底的表面或部分表面。
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