[发明专利]用于半导体清洁的阿基米德刷有效
| 申请号： | 201580066701.8 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN107257639B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 布拉德利·斯科特·威瑟斯;埃里克·斯科特·纳尔逊;罗伯特·艾伦·威利斯 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | A46B13/00 | 分类号： | A46B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于清洁衬底的清洁装置。在一个方面中，所述清洁装置包括与心轴接合的刷子，且所述刷子形成阿基米德螺纹形状。所述刷子由吸附性材料形成，优选地为泡沫体。在一个方面中，所述刷子坐落于所述心轴中的凹槽内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 清洁 阿基米德 | ||
【主权项】：
一种用于清洁衬底的清洁装置，所述清洁装置包括：刷子，其由吸收性材料形成；以及刚性心轴，其具有外表面、在所述外表面中形成凹槽且形成阿基米德螺纹形的壁，所述刷子至少部分坐落于所述凹槽内。
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