[发明专利]反射器有效
| 申请号： | 201580066792.5 | 申请日： | 2015-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN107003621B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | H-K·尼恩惠斯;S·N·L·多纳斯;G·C·德弗里斯;M·J·M·林肯斯;E·R·鲁普斯特拉 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种反射器(2)，包括由衬底(8)支撑的板(4)，其中所述板具有反射表面(5)，并且通过无粘合剂结合方式被固定在衬底上，并且其中冷却通道阵列(10)被设置在反射器中。冷却通道阵列的通道(16)可以由衬底的表面中的开口通道形成，所述开口通道被所述板封闭以形成通道。 | ||
| 搜索关键词： | 反射器 衬底 开口通道 冷却通道 反射表面 结合方式 无粘合剂 封闭 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种反射器，包括由衬底支撑的板，其中所述板具有反射表面，并且通过无粘合剂结合被固定至衬底，其中在反射器中设置冷却通道阵列，所述冷却通道阵列的通道由衬底的表面中的开口通道形成，所述开口通道被中间板封闭以形成所述通道，其中所述反射器还包括第二冷却通道阵列，所述第二冷却通道阵列的多个通道由中间板中的开口通道形成，中间板中的开口通道被板封闭。
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