[发明专利]高频电源在审
申请号: | 201580067392.6 | 申请日: | 2015-12-09 |
公开(公告)号: | CN107006113A | 公开(公告)日: | 2017-08-01 |
发明(设计)人: | 笠井善信 | 申请(专利权)人: | 株式会社达谊恒 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46;H02M7/48 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种高频电源,能够使高频电力作为高速地变化的期望的波形输出。所述高频电源1包括合成2个DC‑RF转换部4A、4B和两DC‑RF转换部4A、4B的输出的RF合成部5。DC‑RF转换部4A、4B分别将从高频信号生成部8输入的高频电压va、vb放大输出高频电压vPA、vPB。RF合成部5以与高频电压vPA、vPB的相位差θ对应的合成比例输出高频电压vPX。控制部9将相位差θ在θ1与θ2之间切换。由此,从RF合成部5输出的输出电力PX成为具有高电平期间和低电平期间的脉冲状的高频电力。相位差θ的切换能够高速地进行,因此能够输出提高了第一电平与第二电平的切换的频率的脉冲状的高频电力。 | ||
搜索关键词: | 高频 电源 | ||
【主权项】:
一种高频电源,其特征在于,包括:高频生成单元,其生成彼此的相位差能够变更的多个高频;高频合成单元,其以基于所述相位差的规定比例合成从所述高频生成单元输出的多个高频,并将其输出到负载;和输出控制单元,其对于所述高频生成单元通过使所述相位差变化,来控制从所述高频合成单元输出的高频电力,其中所述输出控制单元使所述相位差变化以使从所述高频合成单元输出的高频电力成为所期望的波形。
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