[发明专利]使用图案形成装置形貌引入的相位的方法和设备在审
| 申请号： | 201580068501.6 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107111240A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | J·M·芬德尔斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法包括获得由光刻图案形成装置的图案的三维形貌导致的计算的波前相位信息；和基于该计算的波前信息且使用计算机处理器来计算图案形成装置的图案的三维形貌的成像效应。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 图案 形成 装置 形貌 引入 相位 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种方法，所述方法包括：获得由光刻图案形成装置的图案的三维形貌导致的计算的波前相位信息；以及基于所述计算的波前信息且使用计算机处理器来计算图案形成装置的图案的三维形貌的成像效应。
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