[发明专利]干膜抗蚀剂用保护膜和感光性树脂叠层体有效
| 申请号： | 201580069400.0 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN107111235B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 栋泰人;森井秀和;舟津良亮;井崎公裕 | 申请（专利权）人： | 三菱化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;B32B27/36;C08J7/044;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;程采 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 作为干膜抗蚀剂用保护膜，提供一种脱模性、防静电性、密合性、卷绕特性良好的保护膜、以及叠层有该保护膜的感光性树脂叠层体。该干膜抗蚀剂用保护膜在聚酯膜的单面具有由含有含长链烷基的化合物和防静电剂、以及丙烯酸树脂或聚乙烯醇的涂布液形成的涂布层，该涂布层表面的最大突起高度(Rt)为0.1～1.0μm。感光性树脂叠层体具有在形成于基膜上的感光性树脂层表面叠层有上述保护膜的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 干膜抗蚀剂用 保护膜 感光性 树脂 叠层体 | ||
【主权项】：
一种干膜抗蚀剂用保护膜，其特征在于：在聚酯膜的单面具有涂布层，该涂布层由含有含长链烷基的化合物和防静电剂、以及丙烯酸树脂或聚乙烯醇的涂布液形成，该涂布层表面的最大突起高度Rt为0.1～1.0μm。
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