[发明专利]对光带上的沟槽结构的衍射成像有效
| 申请号： | 201580070224.2 | 申请日： | 2015-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN107110779B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | S·D·威尔逊 | 申请（专利权）人： | 甲骨文国际公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/55;G01N21/89;G01N21/956 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邹丹 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于对光带表面(12)进行成像的沟槽监测系统(30)。光带表面(12)包括压印在其上的多个沟槽图案(18)。沟槽监测系统包括光学传感器(32)、以第一入射角度将第一光束引导到光带表面(12)上以使得第一光束从光带表面(12)被直接反射并被光学传感器(32)成像的第一光源(38)。沟槽监测系统(30)还包括以第二入射角度将第二光束引导到光带表面(12)上以使得第二光束从光带表面(12)被衍射并被光学传感器(32)成像为衍射光图像的第二光源(40)。沟槽监测系统(30)能够同时对沟槽图案和光带(10)的边缘(20、22)生成电子图像，以便确保带边缘(20、22)和沟槽图案满足平行性要求。 | ||
| 搜索关键词： | 对光 带上 沟槽 结构 衍射 成像 | ||
【主权项】：
1.一种用于对光带表面进行成像的沟槽监测系统，所述光带表面包括多个沟槽图案，所述沟槽监测系统包括：光学传感器；第一光源，第一光源提供第一光束，第一光束被以第一入射角度引导到所述光带表面上，使得第一光束从所述光带表面被直接反射并被所述光学传感器成像为包括带边缘的直接反射图像；以及第二光源，第二光源将第二光束以第二入射角度引导到所述光带表面上，使得第二光束从所述光带表面被衍射并被所述光学传感器成像为包括所述多个沟槽图案的衍射光图像，从而获得同时包括所述多个沟槽图案和所述带边缘的图像。
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