[发明专利]应力调谐平面照明电路及其方法

摘要

公开了一种平面光波电路，其能够与具有低光损耗的外部设备光耦合，同时还提供了对传播通过PLC的光信号的低功率功能控制。PLC包括其中形成应力诱导(SI)移相器的高对比度波导区域，使得它能够控制光信号的相位。高对比度波导区域经由斑点尺寸转换器光耦合到低对比度波导区域，由此使到能够光耦合到具有低光损耗的芯片外设备。在高对比度波导区域中形成SI移相器使得能够有改进的响应性和相位控制、降低的电压以及更小的所需芯片占用面积。因此，本发明使得能够实现更低成本和更高性能的PLC系统。

主权项

一种平面光波电路，所述平面光波电路包括：(1)高对比度波导区域，包括第一波导部分，所述第一波导部分包括共同支持具有第一模场分布的光信号的传播的多层芯，所述多层芯具有：(a)包括第一材料的第一层，所述第一层具有第一厚度；(b)包括所述第一材料的第二层，所述第二层具有大于所述第一厚度的第二厚度；以及(c)位于所述第一层和所述第二层之间的第三层，所述第三层包括第二材料，其中第三层具有小于或等于500nm的第三厚度；(2)低对比度波导区域，包括第二波导部分，所述第二波导部分包括共同支持具有大于所述第一模场分布的第二模场分布的光信号的传播的单层芯，所述单层芯包括所述第一层；(3)斑点尺寸转换器，其将所述第一波导部分和所述第二波导部分光耦合；以及(4)布置在所述第一波导部分中的移相器，所述移相器包括第一电极层、第二电极层以及位于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层，其中所述移相器操作用于响应于控制信号而在所述第一波导部分中诱导应力。