[发明专利]辐射源模块有效
| 申请号： | 201580070811.1 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN107111247B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | M.帕特拉;A.沃尔夫;M.施瓦布;T.格鲁纳;J.哈杰斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种包含多个M的扫描仪(3 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 模块 | ||
【主权项】：
1.一种投射曝光系统(1)的照明系统(19)的辐射源模块(2)，所述投射曝光系统包含多个(M)的扫描仪(3
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