[发明专利]将单层石墨烯转移至柔性玻璃基板上

摘要

本文中描述了将石墨烯从成型基板转移到目标基板的改进方法。具体来说，本文中描述的方法可用于将高质量的通过化学气相沉积生长的单层石墨烯从金属(例如，铜)成型基板转移到超薄柔性玻璃靶材。改进工艺提供在结构上具较少缺陷的石墨烯材料。

主权项

一种用于形成石墨烯涂覆的玻璃的工艺，所述工艺：a.形成干净超薄柔性玻璃基板，所述干净超薄柔性玻璃基板包括：i.将O2等离子体处理施加于超薄柔性玻璃基板；ii.将有机碱与过氧化物溶液施加于所述超薄柔性玻璃基板；及iii将酸与过氧化物溶液施加于所述超薄柔性玻璃基板；其中所述超薄柔性玻璃基板具有约10μm至约300μm的厚度；b.使成型基板上的通过化学气相沉积生长的石墨烯与热释放带接触，以便形成堆叠；c.将约100psi至约1000psi的按压力施加至所述堆叠达足以使所述热释放带粘附到所述石墨烯的时间，接着将所述按压力移除；d.在蚀刻剂溶液中，将所述成型基板蚀刻掉；e.使所述干净超薄柔性玻璃基板与所述石墨烯接触，以便形成夹层，所述夹层包括所述热释放带、石墨烯和超薄柔性玻璃基板，并且将所述夹层放入压机中；f.将约75psi至约300psi的按压力施加至所述夹层达足以使所述石墨烯粘附到所述超薄柔性玻璃基板的时间，接着将所述按压力移除；以及g.将所述夹层加热至比所述热释放带的释放温度高约1℃至约10℃的温度达足以移除所述热释放带而不破坏所述石墨烯或所述超薄柔性玻璃基板或足以将所述石墨烯从所述超薄柔性玻璃基板移除的时间。