[发明专利]离子束引出用电极、离子源在审
| 申请号： | 201580073315.1 | 申请日： | 2015-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN107112176A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 甲斐裕章;井内裕;西村一平 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290 | 代理人： | 鹿屹,李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实现离子束引出用电极的维护性提高。离子束引出用电极(E)包括具有供离子束通过的开口部的电极部(1)、固定支承电极部(1)的支承框(11)，支承框(11)形成有制冷剂流路(12)，并且具有在电极部(1)配置于支承框(11)时在与离子束通过方向大致垂直的面内限制电极部(1)移动的移动限制部(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 引出 用电 离子源 | ||
【主权项】：
一种离子束引出用电极，其用于离子源，其特征在于，包括：电极部，具有供离子束通过的开口部；支承框，固定支承所述电极部，所述支承框形成有制冷剂流路，并且具有移动限制部，当所述电极部配置于所述支承框上时，在与离子束通过方向大致垂直的面内，所述移动限制部限制所述电极部的移动。
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