[发明专利]线光束形成装置有效
| 申请号： | 201580073649.9 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN107112707B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 文轸培;金惠贞;柳相吉 | 申请（专利权）人： | 株式会社菲尔光学 |
| 主分类号： | H01S3/081 | 分类号： | H01S3/081 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种线光束形成装置，其配置成：通过使用由多个反射镜组成的单反射镜组，可以沿与激光束的行进方向(z轴)垂直的第一方向(y轴)将激光束分割为具有预定尺寸的子光束，并且沿与激光束的行进方向(z轴)垂直的第二方向(x轴)以规则的间隔排列这些子光束并出射，本发明的线光束形成装置可以用作准分子激光器(具有高光束发散度的多模式激光束发生器)、大功率DPSS激光器或激光二极管，可以通过会聚光束而获得高密度能量，可以获得在长轴和短轴两者中均具有均匀强度的光束轮廓，并且可以组合多个激光束而不受入射光束特性的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 形成 装置 | ||
【主权项】：
一种线光束形成装置，其在操作表面上形成线光束，所述线光束形成装置包括：激光源，其发射激光束；以及单反射镜组，其由多个反射镜组成，其中，所述单反射镜组在所述线光束形成装置中被布置成：通过重复执行包括接收激光束、沿与所述激光束的行进方向(z轴)垂直的第一方向(y轴)分割所述激光束以出射具有预定尺寸的子光束、以及在所述单反射镜组中对其余光束进行再反射以使所述其余光束在所述第一方向(y轴)上移动预定尺寸的过程来顺序地出射具有预定尺寸的子光束，并且沿与所述激光束的所述行进方向(z轴)垂直的第二方向(x轴)以规则的间隔排列所述子光束。
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