[发明专利]用于盖覆物体的方法以及由此生产的盖覆物有效
| 申请号： | 201580073689.3 | 申请日： | 2015-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN107109640B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | R·皮通耐克;A·科勒普;R·韦森巴彻 | 申请（专利权）人： | 倍锐特有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/34;C23C16/455;C23C28/04;C23C30/00 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所(普通合伙) 11269 | 代理人： | 甘玲;缪策 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及用于盖覆物体(1)的工艺，其中具有一个或更多个盖覆层(3、4、5)的盖覆物(2)被施加于所述物体(1)，其中至少一个盖覆层(5)基本上由铝、钛和氮形成，其中至少在一些区域中，所述盖覆层(5)具有邻接的不同化学组成的片层，并且从包括至少一种铝前体和至少一种钛前体的气相沉积所述盖覆层(5)。根据本发明，通过设置铝与钛的摩尔比，所述不同化学组成的片层各自形成立方结构，通过保留立方结构，铝和钛被其它金属部分地代替，并且氮被氧和/或碳部分地代替是可能的。本发明进一步涉及相应被生产的盖覆物(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 盖覆层 化学组成 立方结构 片层 气相沉积 铝前体 摩尔比 钛前体 邻接 施加 金属 生产 保留 | ||
【主权项】：
1.一种盖覆物体(1)的方法，其中具有一个或更多个盖覆层(3、4、5)的盖覆物(2)被施加于所述物体(1)，其中至少一个盖覆层(5)由铝、钛和氮形成，其中至少在一些区域中，所述盖覆层(5)包括互相邻接的不同化学组成的片层，并且从具有至少一种铝前体和至少一种钛前体的气相沉积所述盖覆层(5)，其特征在于，通过调整铝与钛的摩尔比，所述不同化学组成的片层各自形成立方结构，其中通过保存立方结构，铝和钛可以被其它金属部分地代替，并且氮可以被氧和/或碳部分地代替。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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