[发明专利]对等离子体过程的供电期间出现的电弧进行检测的方法、等离子体电源的控制单元、以及等离子体电源有效
| 申请号： | 201580073917.7 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN107466419B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | C·加品斯基;A·吉拉托斯基;A·格拉博夫斯基;P·瓦赫;M·泽莱科斯基 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 波兰;PL |
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| 摘要： | 一种用于为等离子体室(30)中的等离子体过程供电的等离子体电源(10)，包括：a、DC源(15)；b、输出信号发生器(16)，该输出信号发生器(16)连接到DC源(15)；c、第一信号序列测量设备(20)，该第一信号序列测量设备(20)用于测量存在于DC源(15)与输出信号发生器(16)之间的信号序列；d、第二信号序列测量设备(18、19)，该第二信号序列测量设备(18、19)用于测量存在于输出信号发生器(16)的输出端处的信号序列；e、控制单元(14)，该控制单元(14)连接到第一和第二信号序列测量设备(18、19、20)。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 过程 供电 期间 出现 电弧 进行 检测 方法 电源 控制 单元 以及 | ||
【主权项】：
1.一种用于对在等离子体室(30)中的等离子体过程的供电期间出现的电弧进行检测的方法，包括以下方法步骤：a、由信号序列测量设备(20)确定存在于DC源(5)与输出信号发生器(16)之间的第一信号序列；b、由第二信号序列测量设备(18、19)确定存在于所述输出信号发生器(16)的输出端处的第二信号序列；c、基于所述第一信号序列和所述第二信号序列中的一个来确定参考信号序列(1)；d、将所述参考信号序列(1)与所述第一信号序列和所述第二信号序列中的没有用于确定所述参考信号序列(1)的信号序列(2)进行比较；e、如果所述参考信号序列(1)与没有用于确定所述参考信号序列(1)的所述信号序列(2)交叉，则检测到电弧。
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