[发明专利]具有对齐的纳米级电子元件的含纳米孔的基板及其制备和使用方法有效

专利信息
申请号: 201580075151.6 申请日: 2015-12-01
公开(公告)号: CN107207246B 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: J·埃尔登;A·科特斯;A·巴纳德;P·麦可优恩 申请(专利权)人: 康奈尔大学
主分类号: C12Q1/6869 分类号: C12Q1/6869;G01N27/414;G01N33/48;G01N33/543;G01N27/447;B82B1/00;B82B3/00
代理公司: 11111 北京市万慧达律师事务所 代理人: 白华胜;王蕊
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 含纳米孔的基板包括基板、所述基板上的膜、和设置在所述膜上或嵌入所述膜中的至少一个纳米级电子元件。所述膜限定至少一个纳米孔。所述纳米级电子元件与所述纳米孔中的一个对齐,使得所述纳米级电子元件的边缘和所述纳米孔的边缘之间的最短距离小于50nm。所述纳米孔可通过使用溶液蚀穿介电层,同时相对于所述溶液向所述纳米级电子元件施加电压形成。所述含纳米孔的基板可用于对诸如核酸的生物聚合物进行检测或测序。所述含纳米孔的基板可与生物聚合物检测和/或测序系统一起使用。
搜索关键词: 纳米孔 纳米级电子元件 基板 生物聚合物检测 生物聚合物 测序系统 施加电压 最短距离 对齐 介电层 核酸 测序 可用 嵌入 检测
【主权项】:
1.一种方法,其包括:/n在设置于基板上的膜上或在所述膜中设置能够导电的至少一个纳米级电子元件,其中所述膜由电介质、半导体或半金属制成;/n使所述膜与蚀刻剂接触;和/n相对于与所述蚀刻剂接触的另一电极,将电压施加于所述纳米级电子元件,使得至少一个纳米孔被蚀刻穿过所述膜,所述纳米级电子元件的边缘和所述纳米孔的边缘之间的最短距离小于50nm。/n
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