[发明专利]MEMS换能器、用于制造其的方法及包括其的电子设备有效
| 申请号： | 201580076124.0 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN107223346B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | S·卡吉尔;M·S·皮耶豪钦斯基 | 申请（专利权）人： | 思睿逻辑国际半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 11285 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑建晖;关丽丽 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本申请涉及MEMS换能器，具有膜层(101)和至少一个可变通气部结构(301)。可变通气部结构具有：通气孔，以使流体通气，从而减小隔膜层两侧的压力差；及，可移动通气盖(302a，302b)，在平衡位置处至少部分地阻塞通气孔。通气盖响应于通气盖两侧的压力差而从其平衡位置能移动，从而使穿过通气孔的流动路径的尺寸变化。在多个实施方案中，通气盖包括至少第一折翼区段(302a)和第二折翼区段(302b)，第一折翼区段以铰链方式联接到通气孔的侧边，第二折翼区段以铰链方式联接到第一折翼区段，从而相对于第一折翼区段能移动。在一些实施方案中，第二折翼区段(302b)可被配置为使得其偏转远离第一区段(302a)比第一区段偏转远离其平衡位置更容易。 | ||
| 搜索关键词： | mems 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统MEMS换能器，包括：/n一个膜层；以及/n至少一个可变通气部结构，包括：/n一个通气孔，用于使流体通气，从而减小所述膜层两侧的压力差；以及/n一个可移动通气盖，所述可移动通气盖在平衡位置处至少部分地阻塞所述通气孔；/n其中，所述通气盖响应于所述通气盖两侧的压力差而从所述平衡位置能移动，从而使所述通气盖对所述通气孔的阻塞的程度变化，且从而使穿过所述通气孔的流动路径的尺寸变化；并且/n其中，所述通气盖包括至少第一折翼区段和第二折翼区段，所述第一折翼区段以铰链方式联接到所述通气孔的侧边，并且所述第二折翼区段以铰链方式联接到所述第一折翼区段，从而相对于所述第一折翼区段能移动。/n
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