[发明专利]混合MEMS扫描模块有效
| 申请号： | 201580076238.5 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN107250876B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | R·埃尔里奇;A·施庞特;Y·格尔森 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描设备(20)，该扫描设备包括基座(44)，该基座包含沿着万向支架轴线设置的一个或多个旋转轴承(32)。万向支架(30)包括适配到旋转轴承中的轴(70)，使得万向支架围绕万向支架轴线相对于基座旋转。反射镜组件(60)包括半导体衬底，该半导体衬底已被蚀刻和涂覆以限定固定到万向支架的支座(26)；包含在支座内的至少一个反射镜(24)，以及将至少一个反射镜连接到支座并且限定至少一个反射镜轴线的连接构件(28)，该至少一个反射镜围绕该至少一个反射镜轴线相对于支座旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 mems 扫描 模块 | ||
【主权项】：
一种扫描设备，包括：基座，所述基座包含沿着万向支架轴线设置的一个或多个旋转轴承；万向支架，所述万向支架包括适配到所述旋转轴承中的轴，使得所述万向支架围绕所述万向支架轴线相对于所述基座旋转；和反射镜组件，所述反射镜组件包括半导体衬底，所述半导体衬底已被蚀刻和涂覆以限定：支座，所述支座固定到所述万向支架；至少一个反射镜，所述反射镜包含在所述支座内；和连接构件，所述连接构件将所述至少一个反射镜连接到所述支座并且限定至少一个反射镜轴线，所述至少一个反射镜围绕所述至少一个反射镜轴线相对于所述支座旋转。
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