[发明专利]晶体制造系统和方法在审

专利信息
申请号: 201580076554.2 申请日: 2015-12-23
公开(公告)号: CN107250444A 公开(公告)日: 2017-10-13
发明(设计)人: 马克·W·达塞尔;乌韦·克冉特 申请(专利权)人: 斯泰克有限责任公司;马克·W·达塞尔
主分类号: C30B28/14 分类号: C30B28/14;C30B29/06;C23C16/442;C23C16/24
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 代理人: 王达佐,王艳春
地址: 德国布*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 机械流化系统和过程允许高效、有成本效益地制造具有极低水平的诸如金属和氧气的污染物的硅包覆颗粒。这些硅包覆颗粒在保持在低氧气水平或极低氧气水平和低污染物水平或极低污染物水平的环境中制造、运输并且成形为晶体,以使氧化硅的形成最小化,并且使包覆颗粒上的污染物沉积最小化。这种高纯度的包覆硅颗粒可不需要分类,并且可在晶体制造方法中整体或部分地使用。通过减少或消除氧化硅层和包覆颗粒上的污染物来改进晶体制造方法和所制造的所得高质量硅晶锭。
搜索关键词: 晶体 制造 系统 方法
【主权项】:
一种晶体制造方法,包括:从被加热微粒床中选择性地分离出多个包覆颗粒;以及在具有低氧气水平和低污染物水平的环境中,将从所述被加热微粒床中分离出的所述多个包覆颗粒的至少第一部分运输到包覆颗粒熔化器。
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