[发明专利]测量装置及测量方法、曝光装置及曝光方法、以及器件制造方法有效
| 申请号： | 201580076880.3 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN107407894B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 上田哲宽 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 陈伟;闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 对准系统具有：对准系统(50)，其具有包含与能够沿Y轴方向移动的晶圆(W)相对的物镜透明板(62)在内的物镜光学系统(60)、一边使测量光(L1、L2)沿Y轴方向扫描一边经由物镜透明板(62)对设置于晶圆(W)的格子标记(GM)照射该测量光(L1、L2)的照射系统(70)、和经由物镜光学系统(60)接受来自格子标记(GM)的该测量光(L1、L2)的衍射光(±L3、±L4)的受光系统(80)；以及运算系统，其基于受光系统(80)的输出，求出格子标记(GM)的位置信息，物镜透明板(62)使在格子标记(GM)衍射的衍射光(±L3、±L4)朝向受光系统(80)偏转或衍射。 | ||
| 搜索关键词： | 格子标记 受光系统 测量光 透明板 物镜 物镜光学系统 对准系统 衍射光 晶圆 衍射 偏转 方向扫描 运算系统 照射系统 照射 输出 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置，其特征在于，具备：/n标记检测系统，其具有相对于设置于沿第一方向移动的物体的格子标记一边使测量光沿所述第一方向扫描一边照射所述测量光的照射系统、包含能够与沿所述第一方向移动的物体相对的物镜光学元件在内的物镜光学系统、以及经由所述物镜光学系统接受来自所述格子标记的所述测量光的衍射光的受光系统；以及/n运算系统，其基于所述标记检测系统的检测结果，求出所述格子标记的位置信息，/n所述物镜光学元件使在所述格子标记产生的衍射光朝向所述受光系统偏转或衍射，/n所述物镜光学元件具有设置有来自所述照射系统的所述测量光的光路的第一区域、和设置有使所述衍射光偏转或衍射的光学元件的第二区域。/n
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