[发明专利]测量处理装置、X射线检查装置、测量处理方法、测量处理程序及结构物的制造方法在审
申请号: | 201580077303.6 | 申请日: | 2015-03-03 |
公开(公告)号: | CN107407646A | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
发明(设计)人: | 八嶋紘宽;早野史伦;河井章利 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人: | 寿宁,张华辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于X射线检查装置的测量处理装置,具备区域信息获得部,其获得基于透射第一被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息;存储部,其存储比第一区域大的、与第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息;判断部,其基于第一区域信息和第二区域信息,判断与第一区域对应的区域是否包括在第二区域中。 | ||
搜索关键词: | 测量 处理 装置 射线 检查 方法 程序 结构 制造 | ||
【主权项】:
一种测量处理装置,其用于X射线检查装置,具备:区域信息获得部,其获得基于透射第一被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息;存储部,其所述存储比第一区域大的、与第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息;判断部,其基于所述第一区域信息和所述第二区域信息,判断与所述第一区域对应的区域是否包括在所述第二区域中。
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