[发明专利]半导体存储器有效

专利信息
申请号: 201580077508.4 申请日: 2015-03-09
公开(公告)号: CN107431074B 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 坂本渉;加藤竜也;渡边优太;関根克行;岩本敏幸;荒井史隆 申请(专利权)人: 东芝存储器株式会社
主分类号: H01L27/11556 分类号: H01L27/11556;H01L27/11582;H01L29/788;H01L29/792
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勋
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明实施方式的半导体存储器具备:第1及第2半导体柱,在第1方向延伸,并且沿着相对于所述第1方向交叉的第2方向排列;第1及第2配线,设置在所述第1半导体柱与所述第2半导体柱之间,并且在相对于所述第1方向及所述第2方向这两者交叉的第3方向延伸;第1电极,设置在所述第1半导体柱与所述第1配线之间;第2电极,设置在所述第2半导体柱与所述第2配线之间;第3及第4配线,在所述第2方向延伸,并且分别通过所述第1半导体柱的正上方区域及第2半导体柱的正上方区域这两者;第1接触件,相接于所述第1半导体柱,并且连接在所述第3配线;以及第2接触件,相接于所述第2半导体柱,并且连接在所述第4配线。
搜索关键词: 半导体 存储器
【主权项】:
一种半导体存储器,其特征在于具备:第1及第2半导体柱,在第1方向延伸,并且沿着相对于所述第1方向交叉的第2方向排列;第1及第2配线,设置在所述第1半导体柱与所述第2半导体柱之间,并且在相对于所述第1方向及所述第2方向这两者交叉的第3方向延伸;第1电极,设置在所述第1半导体柱与所述第1配线之间;第2电极,设置在所述第2半导体柱与所述第2配线之间;第3及第4配线,在所述第2方向延伸,并且分别通过所述第1半导体柱的正上方区域及第2半导体柱的正上方区域这两者;第1接触件,相接于所述第1半导体柱,并且连接在所述第3配线;以及第2接触件,相接于所述第2半导体柱,并且连接在所述第4配线。
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