[发明专利]与用于改变物体表面的装置相结合的扫描探针显微镜

摘要

本发明涉及一种用于在纳米切割之后监测物体(18)以及在低温下探究宏观和微观载体的结构的显微镜。所述显微镜包括具有切割边缘的冲头(3)、驱动器(8)和(9)、平台(10)、用于记录样品图像的压电扫描器(15)、具有样品载体(17)的保持器(16)、以及固定有探针(27)的探针单元(25)。压电扫描器(15)被固定至平台(10)，冲头(3)能够与样品相互作用，并且探针单元(25)被安装在平台(10)上。根据本发明，所述显微镜包括对冲头(3)的切割边缘产生机械作用以改变切割表面的模块(35)，所述模块能够与冲头(3)相互作用。

主权项

与用于改变物体表面的装置相结合的扫描探针显微镜，其包括基座(1)，具有冲头(3)的冲头模块(2)处于所述基座(1)上，所述冲头(3)具有第一切割边缘(4)和相邻的第一表面(5)，所述冲头模块(2)具有位于第一X轴点的第一驱动器(8)和位于第二Y轴点的第二驱动器(9)，所述与用于改变物体表面的装置相结合的扫描探针显微镜还包括平台(10)，所述平台(10)被安装在所述基座(1)上并可沿着第三Z轴点移动且与位于第三Z轴点的第三驱动器(11)耦合，所述第三Z轴点正交于XY轴点的平面，所述与用于改变物体表面的装置相结合的扫描探针显微镜还包括压电扫描器(15)，所述压电扫描器(15)可沿着X、Y和Z轴点移动并具有保持器(16)，所述保持器(16)具有容纳物体(18)的物体载体(17)，所述压电扫描器(15)被固定至所述平台(10)，并且所述冲头(3)被布置为能够与所述物体(18)相互作用，所述与用于改变物体表面的装置相结合的扫描探针显微镜还包括具有探针保持器(26)的探针单元(25)，探针(27)被固定至所述探针保持器(26)，所述探针单元(25)被固定至所述平台(10)并可沿着第一X轴点移动且与位于第一X轴点的第四驱动器(30)耦合，同时所述探针(27)能够与所述物体(18)相互作用，其特征在于，所述与用于改变物体表面的装置相结合的扫描探针显微镜包括第一机械作用模块(35)，所述第一机械作用模块(35)被固定至所述平台(10)以便能够与所述冲头(3)相互作用。