[发明专利]测定头以及具备该测定头的偏心测定装置

摘要

测定头(1)具有光源部(3)、第一摄像元件(4)、第二摄像元件(5)、物镜光学系统(6)、光路分割元件(7)、公共光路(OPC)、第一光路(OP1)、第二光路(OP2)，公共光路(OPC)从光路分割元件(7)朝向物镜光学系统(6)形成，第一光路(OP1)从光路分割元件(7)朝向第一摄像元件(4)形成，第二光路(OP2)从光路分割元件(7)朝向第二摄像元件(5)形成，以隔着光路分割元件(7)的方式，公共光路(OPC)位于一侧，第一光路(OP1)和第二光路(OP2)位于另一侧，光路分割元件(7)配置在第一光路(OP1)和第二光路(OP2)交叉的位置上，光源部(3)和第一摄像元件(4)一起配置在规定位置上，第二摄像元件(5)配置在与规定位置不同的位置上，规定位置是物镜光学系统(6)的焦点位置或与物镜光学系统(6)的焦点位置共轭的位置。

主权项

一种测定头，其特征在于，该测定头具有光源部、第一摄像元件、第二摄像元件、物镜光学系统、光路分割元件、公共光路、第一光路、第二光路，所述公共光路从所述光路分割元件朝向所述物镜光学系统形成，所述第一光路从所述光路分割元件朝向所述第一摄像元件形成，所述第二光路从所述光路分割元件朝向所述第二摄像元件形成，以隔着所述光路分割元件的方式，所述公共光路位于一侧，所述第一光路和所述第二光路位于另一侧，所述光路分割元件配置在所述第一光路和所述第二光路交叉的位置上，所述光源部配置在所述第一光路上，所述光源部和所述第一摄像元件一起配置在规定位置上，所述第二摄像元件配置在与所述规定位置不同的位置上，所述规定位置是所述物镜光学系统的焦点位置或与所述物镜光学系统的焦点位置共轭的位置。