[发明专利]带电粒子束装置以及试样观察方法

摘要

在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。

主权项

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：照射部，其对试样照射带电粒子束；成像部，其对所述试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；检测部，其获得通过所述成像部进行成像而得的像；显示部，其显示通过所述检测部获得的所述像；以及选择部，其从所显示的所述像中选择多个预定的部分中的第一预定的部分，所述移动部按照所述第一预定的部分的选择位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑，所述像是电子束衍射像以及所述试样的透射像中的至少一个，所述光阑是能够插入到所述成像部内的衍射面的物镜光阑以及能够插入到所述成像部内的一次像面的限制视野光阑中的至少一个；其中，在选择了所述第一预定的部分之后，所述选择部自动地连续选择所述多个预定的部分中的其中一个未被选择的预定的部分；并且所述移动部按照所述多个预定的部分中的每个预定的部分的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来自动地连续移动所述光阑。