[发明专利]扫描型探针显微镜有效

专利信息
申请号: 201580078724.0 申请日: 2015-04-14
公开(公告)号: CN107533083B 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 平出雅人 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01Q10/04 分类号: G01Q10/04
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 杨楷;毛立群
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 提供一种能够使探针的相对速度变快,并且难以对样品的表面形状的测量结果产生噪声的扫描型探针显微镜。在向X方向以及与X方向相反的方向往返移动时,在切换探针的相对移动的方向时(开始位置P1以及折返位置P2),使相对速度逐渐地降低之后切换方向,在切换后使相对速度逐渐地上升,防止探针的相对速度急剧地变化。在向Y方向以及与Y方向相反的方向位移移动时(开始位置P1以及折返位置P2),使探针的相对速度逐渐地上升后,使相对速度逐渐地降低,由此防止探针的相对速度急剧地变化。
搜索关键词: 扫描 探针 显微镜
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所,未经株式会社岛津制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201580078724.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top