[发明专利]用于固持基板的方法和支撑件有效
| 申请号： | 201580078916.1 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN107873062B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 西蒙·刘 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C03C17/00;B65G49/06;B23Q3/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种用于固持基板的方法和支撑件，其中支撑件包括在运输系统中，运输系统被构造以运输基板。所述方法包括将粘合剂附接至支撑件并且将所述粘合剂附接至基板，其中粘合剂的材料是合成刚毛材料，并且其中粘合剂被构造以将基板附接至支撑件。另外，基板的厚度为约0.3mm或更小，和/或其中基板具有1.4m |
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| 搜索关键词： | 用于 固持基板 方法 支撑 | ||
【主权项】：
一种将基板固持在支撑件上的方法，其中所述支撑件包括在运输系统中，所述运输系统被构造以运输所述基板，所述方法包括：将粘合剂附接至所述支撑件，其中所述粘合剂的材料是合成刚毛材料，并且其中所述粘合剂被构造以将所述基板附接至所述支撑件；以及将所述粘合剂附接至所述基板。
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