[发明专利]附着物去除方法及附着物去除装置有效

专利信息
申请号: 201580080210.9 申请日: 2015-05-27
公开(公告)号: CN107615910B 公开(公告)日: 2020-07-21
发明(设计)人: 星川和美 申请(专利权)人: 株式会社富士
主分类号: H05K13/04 分类号: H05K13/04
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 穆德骏;谢丽娜
地址: 日本爱知*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在本发明的吸嘴干燥装置(100)中,将保持于保持卡盘(128)的吸嘴(60)插入到壳体(160)的内部,通过吹气装置(164)的工作而向吸嘴吹送空气。而且,通过使保持于保持卡盘的吸嘴的吸管(68)与抵接桌台(162)抵接而将吸管向主体筒(64)的内部压入。即,通过吸管向主体筒的内部的压入而使吸管与主体筒进行滑动,由此能够从主体筒的内部将水分排出,并通过空气的吹送将所排出的水分去除。由此,能够适当地去除进入到吸管与主体筒之间的水分。
搜索关键词: 附着物 去除 方法 装置
【主权项】:
一种附着物去除方法,用于将附着于元件保持体的附着物去除,所述元件保持体具备用于保持元件的保持部和保持所述保持部的主体部,所述保持部与所述主体部能够进行相对移动,所述附着物去除方法的特征在于,包括:第一吹气工序,向保持于保持件的所述元件保持体吹送气体;及移动工序,使所述保持部与所述主体部进行相对移动。
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