[发明专利]太阳能电池的制造方法以及太阳能电池

摘要

目的在于，在形成固相扩散源的膜后，接着在进行基于热处理的杂质扩散时，抑制杂质混入到背面，得到载流子寿命长的太阳能电池的制造方法，包括在具有受光面(1A)以及背面(1B)的n型单晶硅基板(1)的受光面(1A)形成作为固相扩散源的BSG膜(2)的工序；以及热处理工序，加热n型单晶硅基板(1)，使作为第2导电类型的杂质的硼从BSG膜(2)扩散而形成p型扩散层(7)，在热处理工序之前，包括去除形成于背面1B的含硼生成物(4)、含氧化硅生成物(5)等固相扩散源的膜的工序。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：在具有第1主面以及第2主面的第1导电类型的半导体基板形成固相扩散源的膜的工序；以及热处理工序，加热所述半导体基板，使第2导电类型的杂质从所述固相扩散源扩散来形成第2导电类型的扩散层，在所述热处理工序之前，包括去除形成于所述第2主面的所述固相扩散源的膜的工序。