[发明专利]与磁感应器集成的晶体管的两侧上的金属在审

专利信息
申请号: 201580082741.1 申请日: 2015-09-27
公开(公告)号: CN107924949A 公开(公告)日: 2018-04-17
发明(设计)人: P.莫罗;P.B.费舍尔 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L21/336
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司72001 代理人: 郑浩,杨美灵
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种设备以及包含设备的系统,设备包含电路结构,其包含装置层,其包括多个晶体管装置,各包含第一侧和相反的第二侧;感应器,设置在结构的第二侧上;以及接触部,耦合到感应器并且经过装置层布线,并且在第一侧上耦合到多个晶体管装置中的至少一个。一种方法包含在衬底上形成多个晶体管装置,限定装置层的多个晶体管装置包含第一侧和相反的第二侧,其中第二侧耦合到衬底;去除衬底的一部分;在装置层的第二侧上形成至少一个感应器;以及将至少一个感应器耦合到多个晶体管装置中的至少一个。
搜索关键词: 感应器 集成 晶体管 两侧 金属
【主权项】:
一种设备,包括:电路结构,包括装置层,其包括多个晶体管装置,其各包括第一侧和相反的第二侧;感应器,设置在所述结构的所述第二侧上;以及接触部,耦合到所述感应器,并且经过所述装置层来布线,且在所述第一侧上耦合到所述多个晶体管装置中的至少一个。
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