[发明专利]包含胺、聚丙烯酰胺和磺酸内酯的反应产物化合物的铜电镀浴

摘要

铜电镀浴包含胺、聚丙烯酰胺和磺酸内酯的反应产物。反应产物起均化剂的作用，并且使得铜电镀浴具有高的布散能力，并提供具有减小球粒的铜沉积。

主权项

1.一种化合物，其包括磺酸内酯、胺和丙烯酰胺的反应产物，其中所述胺具有下式：其中R’包括氢或–CH2-CH2-；R包括H2N–(CH2)m-、HO-(CH2)m-、-HN-CH2-CH2-、Q-(CH2)m-、具有下述结构的部分：具有下述结构的部分：或者具有下述结构的部分：其中R1-R14独立地选自氢和(C1-C3)烷基；m是2-12的整数，n是2-10的整数，p是1-10的整数，q是2-10的整数，以及r、s和t是1-10的数；Q是5-6元杂环，在环中具有一个或两个氮原子，或者Q是苯磺酰胺部分；并且条件是，当R’是–CH2-CH2-时，R是-HN–CH2-CH2-，并且R的氮与R'的碳原子形成共价键，以形成杂环；并且所述丙烯酰胺具有下式：其中R”是具有下述结构的部分：具有下述结构的部分：具有下述结构的部分：或者取代或未取代的三嗪烷环或哌嗪环，其中R15包括氢或羟基；u是1-2的整数，v、x和y独立地是1-10的整数；R16和R17独立地选自氢和羰基部分，条件是当R16和R17是羰基部分时，羰基部分与式(VI)的乙烯基的碳形成共价键，而不是氢与乙烯基的碳形成共价键，从而形成五元杂环。