[发明专利]带有阻尼的弹性安装传感器系统在审
| 申请号： | 201580083484.3 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN108025906A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | P.H.O.罗姆巴奇;K.拉斯穆斯森;A.雷德;W.帕尔;D.莫坦森 | 申请（专利权）人： | ＴＤＫ株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;H01L23/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;郑冀之 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS器件，包括借助于弹簧元件（SE）被弹性安装在载体（C）上的传感器系统（MC）。通过存在于传感器系统和载体的面对表面之一上的阻尼结构（DS）来减小在传感器系统和载体之间的气隙（AG）。弹簧元件至少部分容纳在阻尼结构的凹槽内。气隙的高度足够小以允许压膜阻尼。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 阻尼 弹性 安装 传感器 系统 | ||
【主权项】：
1.MEMS器件，其中传感器系统借助于弹簧元件被弹性安装在载体上所述弹簧元件是金属的并且包括线性、弯曲或有角的细长结构伸长结构的第一端部耦合到所述载体上的第一锚定点伸长结构的第二端部耦合到所述传感器系统上的第二锚定点在所述载体的顶表面和所述传感器系统的底表面之间提供气隙所述气隙的垂直于表面的高度小于在第一和第二锚定点之间的垂直于表面的距离。
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