[发明专利]用于图案化层沉积的系统、方法及计算机可读介质有效
申请号: | 201580083627.0 | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN108349155B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 大卫·H·奥克斯;约书亚·M·尤;杰弗里·A·涅尔森;肯尼思·华德;克里斯蒂·杜登霍弗 | 申请(专利权)人: | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
主分类号: | B29C64/112 | 分类号: | B29C64/112;B29C64/386;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y50/00 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 刘钊;周艳玲 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 系统、方法和计算机可读介质,用于将流体类型的图案化层沉积向板表面提供为在布局中组织的层,其具有与板表面的板原点对齐的图案的部位。至少一个层包括限定板表面的几何图形布局的布局。 | ||
搜索关键词: | 用于 图案 沉积 系统 方法 计算机 可读 介质 | ||
【主权项】:
1.一种用于图案化层沉积的系统,包括:均包含流体类型的多个流体分配器;以及联接到控制界面的处理器,所述控制界面联接所述多个流体分配器,其中所述处理器用于通过一组层中的协议以特定顺序将流体类型沉积到具有板原点和在几何图形布局中的第一组部位的板表面,每一层包括:顺序;流体类型和量;和具有点的图案的第二组部位的布局,点的图案与流体类型和量被沉积的所述板原点对齐,并且其中所述一组层中的至少一个层包括具有限定所述第一组部位的几何图形布局的所述第二组部位的布局。
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