[发明专利]质谱分析装置有效
| 申请号： | 201580083656.7 | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN108140537B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 西口克;奥村大辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/06;H01J49/42 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的质谱分析装置具备配置于中真空区域的碰撞室(16)、聚焦电极(18)、加速电极(19)、作为静电透镜的前级离子透镜系统(20)、用于分离中真空区域与高真空区域的分隔壁(22)、配置于高真空区域的离子输送光学系统(23)。利用聚焦电极(18)使由于在碰撞室(16)的出口电极(16a)与加速电极(19)之间形成的加速电场而被引出并加速的离子聚焦于微小的离子通过开口(19a)。加速电极(19)阻止气体流，因此减少离子在加速电极(19)的后方与气体颗粒接触的机会。另外，加速电场对离子赋予大的动能，因此离子即使与气体颗粒接触也不会耗散。通过了离子通过开口(19a)的离子被前级离子透镜系统(20)聚焦于分隔壁(22)的离子通过孔(22a)。通过了离子通过孔(22a)的离子被后级离子输送光学系统(23)减速并进行束成形，具有适度的能量地入射至正交加速部(24)。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 加速电极 质谱分析装置 光学系统 加速电场 聚焦电极 离子输送 离子透镜 气体颗粒 真空区域 高真空 碰撞室 通过孔 前级 隔壁 开口 聚焦 出口电极 静电透镜 加速部 气体流 成形 动能 耗散 配置 入射 正交 减速 赋予 | ||
【主权项】：
1.一种质谱分析装置，其为具有利用形成有离子通过孔的分隔壁隔开的中真空区域和高真空区域的差动排气方式的质谱分析装置，所述质谱分析装置具有如下的离子输送路径：该离子输送路径使从配置在中真空区域中的前级离子光学系统发出的离子通过所述离子通过孔并将该离子引导至高真空区域中，并将该离子导入到配置在该高真空区域中的后级离子光学系统，所述质谱分析装置的特征在于，具备：/na)前级离子输送光学系统，其为静电离子透镜，配置在所述前级离子光学系统与所述分隔壁之间，包括加速电极和聚焦电极，所述加速电极设置于所述前级离子输送光学系统的入口侧，具有微小的离子通过开口，从前级离子光学系统引出离子并对该离子进行加速，所述聚焦电极位于该加速电极与所述前级离子光学系统之间，使从该前级离子光学系统引出的离子聚焦以使该离子通过所述加速电极的离子通过开口；/nb)后级离子输送光学系统，其为在所述分隔壁与所述后级离子光学系统之间配置的静电离子透镜；以及，/nc)电压施加部，其对构成所述前级离子光学系统、前级离子输送光学系统、所述分隔壁以及所述后级离子输送光学系统的部件分别施加直流电压，以如下方式对各部件施加电压：在所述前级离子光学系统与所述加速电极之间的区域形成对离子进行加速的加速电场，在该区域中的聚焦电极附近形成使离子聚焦的电场，在所述加速电极与所述分隔壁之间的区域形成维持离子所具有的动能且使该离子聚焦于所述离子通过孔的聚焦电场，在所述分隔壁与所述后级离子光学系统之间的区域形成减少比由所述加速电场对离子赋予的动能小的动能的减速电场。/n
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