[发明专利]成膜装置

摘要

本发明的目的在于提供一种能够防止产生堵塞的、具有喷雾头部的构造的成膜装置。而且，本发明的成膜装置中的喷雾头部(100)在原料溶液喷射用喷嘴部(N1)、反应材料喷射用喷嘴部(N3)之间设有非活性气体喷射部(82)，在原料溶液喷射用喷嘴部(N1)、反应材料喷射用喷嘴部(N2)之间设有非活性气体喷射部(83)。因此，非活性气体喷出口(192)设于原料溶液喷出口(15)与反应材料喷出口(17)之间，非活性气体喷出口(193)设于原料溶液喷出口(15)与反应材料喷出口(16)之间。

主权项

一种成膜装置，通过在大气中喷射雾化后的原料溶液，从而对基板(23)成膜出膜，其特征在于，该成膜装置具备：载置部(24)，供上述基板载置；以及喷雾头部(100，100B)，在底面具有原料溶液喷出口(15，15B)、反应材料喷出口(16，17，16B，17B)及非活性气体喷出口(192，193，192B，193B)，对载置于上述载置部的上述基板，从上述原料溶液喷出口喷射上述原料溶液，从上述反应材料喷出口喷射有助于与上述原料溶液进行反应的反应材料，从上述非活性气体喷出口喷射非活性气体，上述非活性气体喷出口设于上述原料溶液喷出口与上述反应材料喷出口之间。