[发明专利]四极杆滤质器以及四极杆质谱分析装置有效
| 申请号： | 201580084541.X | 申请日： | 2015-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN108352293B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 上田浩子;宫内真二;上野良弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J49/42 | 分类号： | H01J49/42 |
| 代理公司： | 31300 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国京都府京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明中，配置在主电极部(31)之前的前置电极部(32)为两级构成，对前级前置电极部(32A)及后级前置电极部(32B)施加与施加至主电极部(31)的杆电极的高频电压同频率、且振幅随着去往前方而阶段性地减小的高频电压。该高频电压的振幅越小，离子的接收度越大，因此，通过酌情调整振幅，能够改善入射的离子束的发射度与接收度的匹配。离子入射至前置电极部(32)时的透过率以及离子从前置电极部(32)入射至主电极部(31)时的透过率对四极杆滤质器(3)整体的离子透过率的影响要高于前置电极部(32)内的透过率。因此，通过改善这些透过率，能够提高四极杆滤质器(3)整体的离子透过率。 | ||
| 搜索关键词： | 电极部 前置 透过率 四极杆滤质器 高频电压 主电极部 入射 离子 离子透过 施加 四极杆质谱 分析装置 发射度 离子束 同频率 电极 减小 两级 前级 匹配 配置 | ||
【主权项】：
1.一种四极杆滤质器，其特征在于，具备：/na)主电极部，其由以环绕中心轴的方式配置的多个杆电极构成；/nb)前置电极部，其沿所述中心轴配置在所述主电极部之前，以环绕所述中心轴的方式配置的多个电极为1组，所述前置电极部由沿该中心轴相互分离的多组电极构成；/nc)第1电压施加部，其对所述主电极部的各杆电极施加与要使之通过的离子的质荷比相应的直流电压和高频电压相加而得的电压；以及/nd)第2电压施加部，其对所述前置电极部的各电极施加与所述高频电压同频率的高频电压，而且将振幅随着从所述主电极部去往前方而在各组中的每一组中依序缩小的高频电压施加至各电极。/n
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