[发明专利]雾滴涂布成膜装置及雾滴涂布成膜方法有效
| 申请号： | 201580085271.4 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108472676B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李天明 | 申请（专利权）人： | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06;B05B7/26;B05C9/14;B05D1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供能够均匀地成膜出膜厚为100nm以下的薄膜的雾滴涂布成膜装置及雾滴涂布成膜方法。并且，在本发明中，涂布液雾化机构(50)执行涂布液雾滴产生处理，即，利用产生超声波的超声波振子(1)将涂布液5雾化而产生涂布液雾滴(6)。雾滴涂布机构(70)执行涂布液雾滴涂布处理，即，由雾滴涂布头(8)向载置于移动平台(10)上的基板(9)的表面上供给涂布液雾滴(6)，在基板(9)的表面上涂布涂布液雾滴(6)。烧成和干燥机构(90)执行烧成和干燥处理，即，在热板(13)上将表面上涂布有涂布液雾滴(6)的基板(9)进行烧成和干燥，使由涂布液雾滴(6)形成的液膜的溶剂蒸发而在基板(9)的表面上成膜出薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 雾滴 涂布成膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种雾滴涂布成膜装置，其具备：涂布液雾化机构(50、51～53)，其利用超声波振子(1)将雾化容器(4)内的包含规定原料的涂布液(5)雾化而得到液滴状的涂布液雾滴(6)；雾滴涂布机构(70)，其具有载置成为成膜对象的基板(9)的载置部(10)，向所述基板供给所述涂布液雾滴，在所述基板的表面上涂布所述涂布液雾滴；和烧成和干燥机构(90)，其将涂布于所述基板的表面上的所述涂布液雾滴进行烧成和干燥而在所述基板的表面上成膜出包含所述规定原料的薄膜。
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