[发明专利]耐等离子体性部件有效
| 申请号： | 201580085291.1 | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108431299B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 岩泽顺一 | 申请（专利权）人： | TOTO株式会社 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;H01L21/3065;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;王玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明在于提供一种耐等离子体性部件，其特征在于，具备基材以及在所述基材的表面形成的包含氧化钇多结晶体且具有耐等离子体性的层状结构物，构成所述层状结构物的氧化钇多结晶体所包含的结晶彼此并不藉由异相而接合，构成所述层状结构物的氧化钇多结晶体具有仅包含立方晶的结晶结构或者立方晶与单斜晶混在的结晶结构，构成所述层状结构物的氧化钇多结晶体中的相对于立方晶的单斜晶的比例的平均值大于0％、60％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 体性 部件 | ||
【主权项】：
1.一种耐等离子体性部件，其特征在于，具备：基材；以及在所述基材的表面形成的包含氧化钇多结晶体且具有耐等离子体性的层状结构物，构成所述层状结构物的氧化钇多结晶体所包含的结晶彼此并不介由异相而接合，构成所述层状结构物的氧化钇多结晶体具有仅包含立方晶的结晶结构或者立方晶与单斜晶混在的结晶结构，构成所述层状结构物的氧化钇多结晶体中的相对于立方晶的单斜晶的比例的平均值大于0％、60％以下。
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