[其他]工作台装置、输送装置和半导体制造装置

摘要

本实用新型涉及工作台装置、输送装置和半导体制造装置，其中，工作台装置（100）包括：第一部件（1），其能够在规定面内移动；第二部件（2），其能够相对于第一部件进行相对移动；第一导向装置（4），其至少一部分配置于第一部件，引导第二部件以使第二部件通过第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动，第一轴与规定面正交；工作台，其具有由第二部件支承的第一部分；以及多个第二导向装置（5），其至少一部分与工作台的多个第二部分分别连接，引导工作台以使工作台在与第一轴平行的方向上移动，上述多个第二部分以包围第一部分的方式配置。

主权项

1.一种工作台装置，其特征在于，包括：第一部件，其能够在规定面内移动；第二部件，其能够相对于所述第一部件进行相对移动；第一导向装置，其至少一部分配置于所述第一部件，引导所述第二部件以使所述第二部件通过所述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动，所述第一轴与所述规定面正交；工作台，其具有由所述第二部件支承的第一部分；以及多个第二导向装置，其至少一部分与所述工作台的多个第二部分分别连接，引导所述工作台以使所述工作台在与所述第一轴平行的方向上移动，所述多个第二部分以包围所述第一部分的方式配置,在所述规定面内所述工作台呈矩形，所述第二导向装置与所述工作台的四个角部分别连接，四个所述第二导向装置分别连接于在所述规定面内与所述工作台的重心在放射方向上距离相等的所述第二部分。