[其他]用于溅射沉积的沉积源和溅射装置有效
| 申请号： | 201590001451.5 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN208741937U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·施纳朋伯杰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | A99Z99/00 | 分类号： | A99Z99/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于溅射沉积的沉积源和溅射装置，其中沉积源包括：至少一个可旋转阴极(30)；RF功率布置(20)；以及功率输送组件(40、140)，将所述RF功率布置与所述可旋转阴极连接，其中所述功率输送组件包括第一电源连接器(42、142、342、442)和第二电源连接器(44、144、344、444)，以用于在两个间隔开的位置(32、34)处同时向所述可旋转阴极提供来自所述RF功率布置的RF能量，其中所述RF功率布置包括匹配盒(21)，其中所述功率输送组件包括：第一电连接件(146、246)，连接所述匹配盒与所述第一电源连接器；以及第二电连接件(148、248)，连接所述匹配盒与所述第二电源连接器，其中所述匹配盒(21)包括输出端子(25)，所述输出端子沿着所述第一电连接件(246)和所述第二电连接件(248)中的至少一个可移动地安装。 | ||
| 搜索关键词： | 电源连接器 电连接件 匹配盒 阴极 功率输送组件 沉积源 可旋转 溅射沉积 溅射装置 输出端子 可移动地安装 | ||
【主权项】：
1.一种用于溅射沉积的沉积源(10、100、200、300、420)，其特征在于，所述沉积源包括：至少一个可旋转阴极(30)；RF功率布置(20)；以及功率输送组件(40、140)，将所述RF功率布置与所述可旋转阴极连接，其中所述功率输送组件包括第一电源连接器(42、142、342、442)和第二电源连接器(44、144、344、444)，以用于在两个间隔开的位置(32、34)处同时向所述可旋转阴极提供来自所述RF功率布置的RF能量，其中所述RF功率布置包括匹配盒(21)，其中所述功率输送组件包括：第一电连接件(146、246)，连接所述匹配盒与所述第一电源连接器；以及第二电连接件(148、248)，连接所述匹配盒与所述第二电源连接器，其中所述匹配盒(21)包括输出端子(25)，所述输出端子沿着所述第一电连接件(246)和所述第二电连接件(248)中的至少一个可移动地安装。
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