[其他]用于靶材的保护构件和用于在靶材处理期间保护靶材的系统有效
| 申请号： | 201590001491.X | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN208167089U | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·施纳朋伯杰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开内容涉及一种用于靶材的保护构件，和一种用于在靶材处理期间保护靶材的系统。描述一种用于在靶材处理期间保护靶材的保护构件。所述保护构件被定位成覆盖靶材。所述保护构件包括密封件。所述密封件是具有内部空腔的可充气密封件。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 保护构件 处理期间 密封件 可充气密封件 内部空腔 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于靶材的保护构件，其特征在于，所述保护构件被定位成覆盖所述靶材，其中所述保护构件包括具有内部空腔的可充气密封件。
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