[发明专利]一种裸芯片离心试验固定夹具

摘要

本发明公开了一种裸芯片离心试验固定夹具，包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板；下底座上设置两级台阶，两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台；第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽；第一盖板上设置一级台阶，台阶过渡处设有凸台，与下底座上的第一过渡台处的沟槽相配合；第二盖板上也设置一级台阶，台阶过渡处设有凸台，与下底座上的第二过渡台处的沟槽相配合。本发明的固定夹具，结构简单、易于实现，且可以同时进行多芯片、多轴向的裸芯片离心试验。裸芯片离心试验夹具可以承受高g值、长时间离心加速度而不发生夹具功能失效，且保护裸芯片在试验过程中不因固定芯片而污染或损伤裸芯片。

主权项

一种裸芯片离心试验固定夹具，其特征是，包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板；下底座上设置两级台阶，两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台；第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽；第一盖板上设置一级台阶，台阶过渡处设有凸台，与下底座上的第一过渡台处的沟槽相配合；第二盖板上也设置一级台阶，台阶过渡处设有凸台，与下底座上的第二过渡台处的沟槽相配合；第一过渡台位于较低的第一级台阶的过渡处，第二过渡台位于较高的第二级台阶的过渡处，第一过渡台处设置的沟槽作为X/Y轴向沟槽，用于容纳离心试验测试时按X方向或Y方向放置的裸芯片；第二过渡台设置的沟槽作为Z轴向沟槽，用于容纳离心试验测试时按Z方向放置的裸芯片；第一盖板和第二盖板上的凸台朝向对应的沟槽中裸芯片的相对面上设置有弹性垫片；当第一盖板、第二盖板与下底座扣合后，第一盖板、第二盖板上的凸台对应地伸入下底座上的沟槽中，在凸台与沟槽之间形成一容纳裸芯片的空腔，由凸台上的弹性垫片与沟槽将空腔内的裸芯片夹持。